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硅片超声波清洗机

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硅片超声波清洗机

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硅片超声波清洗机概述: 该设备用于晶圆片扩散、蒸发、CAV生产前的清洗处理。该机共有六种清洗方式可供选择,清洗程序为纯水清洗、胆碱清洗、冷热纯水冲洗、酸洗(HF)、纯水清

详细信息
硅片超声波清洗机概述:
 
该设备用于晶圆片扩散、蒸发、CAV生产前的清洗处理。该机共有六种清洗方式可供选择,清洗程序为纯水清洗、胆碱清洗、冷热纯水冲洗、酸洗(HF)、纯水清洗。其工艺性能指标及可靠性完全达到进口同类设备水平,但价格、售后服务、备品备件的供给等是进口设备无法比拟的。
 
硅片超声波清洗机主要特点:
 
采用进口PP板制作。
 
适用2-6寸硅片清洗。
 
超声功率强劲,性能稳定。
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