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RCA清洗机

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概述:主要由两只石英加热缸,两套温度控制系统(石英缸数量可根据客户要求而定),两只快速喷淋排水槽(QDR),两套喷淋控制系统,一只氢氟酸槽,一只一阶溢流槽,一只三阶溢流

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概述:主要由两只石英加热缸,两套温度控制系统(石英缸数量可根据客户要求而定),两只快速喷淋排水槽(QDR),两套喷淋控制系统,一只氢氟酸槽,一只一阶溢流槽,一只三阶溢流槽,两套吸酸排放器等构成。
技术特点
 
 
最大可清洗片子尺寸:Φ300mm。 
槽体数量可根据用户工艺要求配置。 
清洗槽最高加热温度可达200℃。 
快速排放冲洗槽排放,冲洗次数可设置。
 
槽体结构可选单片盒,或双片盒结构。 
槽内传输有手动、自动方式可选。
 
可选配液体循环系统。
 
具有故障提示,报警等功能。
主要技术指标
 
 
□ 去离子水压力:0.25~0.3Mpa 
□ 排水口:Φ60mm 
□ 酸液排放口:1/2″PFA管 
□ 氮气压力:0.25~0.3MPa 
□ 氮气接口管径:3/8″PE管 
□ 压缩空气压力:0.25~0.3 Mpa 
□ 压缩空气接口:3/8″PE管 
□ 电源:AC380V±AC38V (三相五线)

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